精科,他们两家负责双工件台系统,目前项目进度比较快,已经基本解决了所有问题,因此,华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。
而第一个拿下双工件台的是荷兰asml,他们的twinscan技术,已经投产数年时间了,被证明性能可靠。
浙江大学流体动力与机电系统实验室,与浙江启尔机电,这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统,目前已经基本完成,是继荷兰asml和日本尼康之后,全球第三家掌握该项技术的存在。
准分子激光光源,是中科院光电研究院负责的,传闻目前只能做到40w功率,而荷兰asml采用的光源,功率在2019年就达到了250w,这方面差距还是比较大的。
至于荷兰asml的光源供应商,是北美cymer和日本gigaphoton。
最后也是最重要的光学系统,由长春光机所负责物镜,上海光机所负责照明,项目进度未知。
至于荷兰asml的物镜和照明,来自大名鼎鼎的德国蔡司。
凡是了解摄影的人,应该都知道蔡司的镜片水准有多高,当然了,普通消费者多数并不知道,其实卡尔蔡司集团,还有半导体部门。
由此可见,所谓全球最强的荷兰asml光刻机,背后其实是标准的万国造,将全世界所有顶级技术堆在一起,才组成了asml极紫外光刻机。
因此,华夏光刻技术要挑战的不是asml,而是全世界。
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