最好的,也就是峨嵋半导体材料厂,他们依托峨嵋半导体试验所,能将6英寸晶圆片的硅棒提纯到6个9。”田伟华回答道。
张如京默默的点了点头,比他预想的要好一些。
不过,他一抬头便看到方辰一脸懵的表情,解释道:“方总您已经知道晶圆片是从硅棒上切下来的,然而硅棒的纯度则关乎到晶圆片的质量,一般电子级的晶圆片,都要求纯度在99.9999999%以上,也就是我们俗称的9个9才行,像7个9的纯度就只能去做太阳能了。”
听完,方辰忍不住扯了扯嘴角,合着几个九就是说这纯度里有几个九啊,而且这99.9999999%以上未免也太夸张了吧。
他之前听说过,纯度最高的东西,也就是什么万足金了,而那玩意才99.99%而已,跟这硅晶圆差多了。
“而且随着硅棒尺寸的增大,会导致其中含有更多的杂质,这就对提纯技术和设备的要求要更上一个台阶了。”张如京继续解释道。
“另外,我可以把改良版的西门子法交给你,改良版的西门子法,可将尾氧中的hcl,残留的sihci3、sicl4冷凝,使氢得以直接循环,以及流程闭路。”
“除此之外,还能提高sicl4的综合利用,用sicl4制作白碳黑等工业原料,或将其直接转换成sihci3。”
“另外,节能还原炉技术、多棒还原炉、大直径技术、快速沉积技术我也有资料,你们认真研究一下,虽然不可能生产出6英寸晶圆片,但也可以降低耗电量,提高生产效率。”
听张如京这么一说,田伟华不由一愣,紧接着嘴一咧,高兴成傻子了,这些技术他也就是在一些文献,论文上听人家提过一句,哪敢想自己有一天可以掌握。
就连方辰都忍不住嘴角挂起了浓浓的笑意,他真是捡到宝了。
不对,像张如京这样博士学成,然后在研究部门工作多
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