进行，一个晶圆在一个工作台上进行光刻的同时，另外一个晶圆则在第二个工作台上进行扫描，然后第一个晶圆光刻完成，第二个晶圆也扫描完成后，两者就对调位置，一个继续曝光，一个继续扫描新的晶圆。
这种方式极大地节省了时间，提高了光刻机的效率，所以其对于光刻机来说，可以说是必不可少的结构之一。
而这个双工作台的底座部分，就更加重要了，因为双工作台采用的是磁悬浮方式进行移动的，磁悬浮的方式足够稳定，也能够避免摩擦过多造成磨损等问题。
当然，这也就对磁悬浮的精度有了很大的要求，磁悬浮，利用来拒去留的效应，如何实现精准的控制，也就对里面的结构有很大要求。
所以林晓现在正在画的底座结构，也就十分的重要了。
不过，林晓并没有直接画出一整个底座结构，而是分成了几个部分来画，毕竟这个底座是很大的，其中涉及到了多种传感器，可不是他一张纸就能画出来的。
就这样，第二张工图画好了，这是底座结构的框架，里面主要画了走线的位置，以及伺服电机的位置，除此之外，还有其他各种零部件的具体位置，简单来说，这是一个内部结构图，不过内部结构的结构，就没有细化了。
当然，这时候人们就惊奇地发现，第一张图上的伺服电机，就能够完美地嵌入到这张图里面的伺服电机位置中，这两者不管是比例还是什么的，都能够完美贴合。
这更是说明了林晓在画这些图之前，早就对他们的整体布局做好了准备。
这时候，他们又忽然想起了一件事情。
林晓不是才拿到他们的技术资料吗？
而且林晓以前应该没有研究过双工作台吧？
虽然林晓研究过机械，八分结构就是他的杰作之一，但是双工作台可完全称得上一个精细活，也算是一种大工程，结果林晓刚拿到资料，看了几眼之后，反
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