uv光刻机,但是台积电能够做到用duv光刻机生产7nm芯片的技术,而华芯国际却只能做到14nm,便是因为不能很好地运用软件。
当然,在使用软件之前,他们也得先保证眼前这个软件是能够正常工作的。
首先点开软件,经过了一番缓慢地加载后,终于,进入了软件的首页面,全中文操作界面,不包含一个英文字母。
而这时,林晓也走到了其中一台光刻机操作台前,指挥道:“先对整台光刻机进行一遍系统自检。”
“是!”
负责操作这台光刻机的工作人员立即应道,随后便进入了控制面板-系统界面,点击了系统自检。
既然是自检,那自然是检测一下内部每个零部件能否正常运行,当然最关键的,还是检测一下这些机械运行的精度能否达标,以及x光源能否正常激发,并且能否正常被rdx纯硅晶体镜规律衍射等。
经过片刻的加载后,显示器上便出现了进度条,这是自检开始了,不过,光刻机内部依然安静,不像其他机器一样,一运作起来就有各种噪声。
因为,有声音,就说明有震动,而对于光刻机来说,哪怕是一点震动都是致命的,所以光刻机里面一切机械,都基本上做到了无摩擦,像双工作台也都是利用磁悬浮的方式来避免发生震动,当然,双工作台也算是光刻机核心机械中唯二会动的了,然后就是控制透镜的机械臂也会动,其他的核心零部件基本都不会动,变数越多,越难控制。
就这样,时间慢慢过去了,所有人都沉声凝气,或者是面露紧张之色,等待着结果的出现,甚至有人都开始祈祷起来。
因为这一步太关键了,如果自检不通过,那么他们就得重新拆开整部机器,然后检查出现问题的那个零件,找出到底是什么原因导致的不达标,而显然,那又需要花费很多的时间。
而只要自检通过,这就意味着,他们的这个光刻机
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